《低溫納米晶矽的微結構和生長動力學研究》是依託中國科學院大學，由周玉琴擔任項目負責人的青年科學基金項目。
基本介紹
- 中文名：低溫納米晶矽的微結構和生長動力學研究
- 項目類別：青年科學基金項目
- 項目負責人：周玉琴
- 依託單位：中國科學院大學
- 批准號：10404038
- 申請代碼：A2004
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2005-01-01 至 2007-12-31
- 支持經費：28（萬元）
項目摘要
納米晶矽是近年來的研究熱點，除了其低維特性，如在可見光發光、量子輸運、量子振盪以及研製量子功能器件等方面令人矚目之外，在大面積電子學、顯示技術和光伏等領域中有著非常明確的套用前景。在廉價玻璃襯底上低溫製備納米晶矽，可大大減低產品成本，是目前市場的急切需要。如何控制早期非晶層的形成、實現縱向均勻生長是低溫晶化的關鍵問題。本課題的研究內容是在廉價玻璃襯底所能承受的溫度下，探討最佳技術路線，通過氣相反應和原子氫的作用提高生長基元的表面遷移率，實現低溫直接晶化；通過原子力顯微鏡對處在不同生長期的樣品表面進行觀察，跟蹤生長全過程，獲得生長動力學可視性圖象；研究表面均方根粗糙度與生長時間的關係，揭示其生長模式與機制；通過透射電子顯微鏡對樣品剖面的觀察，驗證縱向生長均勻性；藉助中程有序的研究，探討納米矽形成過程中有序度的變化；通過動力學Monte Carlo模擬獲得納米晶矽低溫生長的動態模型。
