《二階段式化學氣相沉積成長銅薄膜及其反應機理研究》是依託浙江大學，由王琦擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：二階段式化學氣相沉積成長銅薄膜及其反應機理研究
- 依託單位：浙江大學
- 項目負責人：王琦
- 項目類別：面上項目
- 批准號：20176048
- 申請代碼：B0802
- 負責人職稱：教授
- 研究期限：2002-01-01 至 2004-12-31
- 支持經費：18（萬元）
項目摘要
屬.於.超.大.規.模.集.成.電.路.後.段.制.程.的.銅.金.屬.化.是.現.今.及.未.來.集.?電.路.制.造.中.的.主.導.性.技.術.，.新.一.代.銅.制.程.的.核.心.技.術.即.在.於.全.部.以.化.學.氣.相.沉.積.的.方.式.成.長.擴.散.阻.障.層.、.銅.種.晶.層.及.銅.金.屬.膜.。.本.項.目.針.對.新.世.代.銅.制.程.中.的.銅.膜.成.長.技.術.，.研.究.氮.化.鉭.／.矽.基.材.上.二.階.段.化.學.氣.相.沉.積.銅.膜.成.長.、.最.佳.沉.積.?應.條.件.、.銅.核.形.成.過.程.及.銅.膜.成.長.機.制.，.探.討.其.沉.積.反.應.機.理.。.
