適用於元素的表面分布、深度分布的微區分析的能譜儀。
| 中文名稱 | 二次離子譜儀 |
| 英文名稱 | secondary ion spectrometer |
| 定 義 | 適用於元素的表面分布、深度分布的微區分析的能譜儀。 |
| 套用學科 | 機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器儀器和附屬檔案（三級學科） |
基本介紹
- 中文名：二次離子譜儀
- 用途：用於元素的表面分布、深度分布的微區分析
適用於元素的表面分布、深度分布的微區分析的能譜儀。
| 中文名稱 | 二次離子譜儀 |
| 英文名稱 | secondary ion spectrometer |
| 定 義 | 適用於元素的表面分布、深度分布的微區分析的能譜儀。 |
| 套用學科 | 機械工程（一級學科），分析儀器（二級學科），能譜和射線分析儀器-能譜和射線分析儀器儀器和附屬檔案（三級學科） |
