《三維敏感效應MEMS氣體感測器》是依託西南交通大學，由陳向東擔任項目負責人的面上項目。
基本介紹
- 中文名：三維敏感效應MEMS氣體感測器
- 項目類別：面上項目
- 項目負責人：陳向東
- 依託單位：西南交通大學
- 研究期限：2009-01-01 至 2011-12-31
- 批准號：60871024
- 支持經費：32（萬元）
- 申請代碼：F0123
- 負責人職稱：教授
項目摘要
傳統氣體感測器的敏感結構通常是一連續的厚度均勻的氣敏薄膜或厚膜，與氣體接觸面積小，不利於氣體感測器性能的進一步提高，因此，本項目提出了一種基於三維敏感效應的MEMS氣敏晶片結構，其思路是利用微機械技術將傳統的連續型氣敏薄膜或厚膜離散或部分離散成許多微小的、具有一定深寬比與特定形狀的三維微結構敏感體突起，使氣體能夠擴散進離散區域，與這些微結構敏感體突起的側壁相接觸，形成三維敏感效應，這種新型的三維氣敏結構使氣體與敏感體的接觸面積顯著增加，可使氣體感測器的回響速度與靈敏度等性能得到較大改善，與多孔結構或納米結構相比，這種用MEMS技術加工形成的三維氣敏微結構，在突起的形狀、尺寸與密度等方面可以得到嚴格精確的控制，從而使批量生產時元件與元件之間性能的一致性得到有效保證，而且與IC工藝的兼容性更好。
