三氟乙醯氟

一種低GWP值半導體刻蝕氣體和潛在的中低溫製冷劑，只含有C、O、F三種元素，是全氟類醯氟中第二輕的物質。

基本介紹

• 中文名：三氟乙醯氟 
• 外文名：Trifluoroacetyl fluoride
• 化學式：CF3COF
• 分子量：116.01400
• CAS登錄號：354-34-7
• 沸點：-59 ℃
• 水溶性：劇烈反應
• 套用：半導體刻蝕氣體、製冷劑