《一種晶圓良率問題資料庫的搜尋方法和裝置》是筏渡（上海）科技有限公司於2021年4月15日申請的專利，該專利公布號為CN112988792A，專利公布日為2021年6月18日，發明人是徐文丞、易叢文、林孟喆、戴靜安。
基本介紹
- 中文名：一種晶圓良率問題資料庫的搜尋方法和裝置
- 申請公布號 ：CN112988792A
- 申請公布日 ：2021.06.18
- 申請號 ：2021104075435
- 申請日：2021.04.15
- 申請人：筏渡（上海）科技有限公司
- 地址：200090上海市楊浦區長陽路1687號東1223幢（A樓）三層A307
- 發明人：徐文丞; 易叢文; 林孟喆; 戴靜安
- Int. Cl.：G06F16/245(2019.01)I; G06F16/28(2019.01)I; G06F16/248(2019.01)I
- 專利代理機構：北京億騰智慧財產權代理事務所(普通合夥)11309
- 代理人：周良玉
專利摘要
本發明實施例提供了一種晶圓良率問題資料庫的搜尋方法和裝置，晶圓良率問題資料庫為預先建立的，其中包括多個失效類別及其相關的失效特徵和對應的指證性數據，該方法包括：在多個第一晶圓圖中確定存在預定的失效模式的若干第二晶圓圖；提取第二晶圓圖的第一失效特徵，據以確定第二晶圓圖的第一失效類別；根據第一失效類別和多個失效類別的失效特徵的相似度，確定多個失效類別中的若干第二失效類別、以及第一失效類別與第二失效類別的失效特徵匹配數量；根據第一失效類別和第二失效類別的指證性數據的相似度，確定第一失效類別與各第二失效類別的指證性數據匹配數量；根據失效特徵和指證性數據匹配數量，對若干第二失效類別進行第一排序並展示。
