一種封裝基板表面平底盲孔的雷射加工方法

一種封裝基板表面平底盲孔的雷射加工方法

《一種封裝基板表面平底盲孔的雷射加工方法》是西安交通大學於2021年2月1日申請的專利,該專利公布號為CN112917028A,專利公布日為2021年6月8日,發明人是趙萬芹、梅雪松、楊子軒。

基本介紹

  • 中文名:一種封裝基板表面平底盲孔的雷射加工方法
  • 申請公布號:CN112917028A
  • 申請公布日:2021.06.08
  • 申請號:2021101358131
  • 申請日:2021.02.01
  • 申請人:西安交通大學
  • 地址:710049陝西省西安市碑林區鹹寧西路28號
  • Int. Cl.:B23K26/386(2014.01)I; B23K26/064(2014.01)I; B23K26/082(2014.01)I; B23K26/60(2014.01)I
  • 發明人:趙萬芹; 梅雪松; 楊子軒
  • 專利代理機構:西安智大智慧財產權代理事務所61215
  • 代理人:賀建斌
專利摘要
一種封裝基板表面平底盲孔的雷射加工方法,先搭建雷射加工系統,然後將封裝基板清洗,吹乾後固定在移動加工平台的加工工位上,調節移動加工平台的高度,使雷射聚焦於封裝基板上表面;然後通過計算機控制短脈衝雷射器的通斷,並設定短脈衝雷射器的雷射加工參數;再通過計算機繪製雷射加工路徑,並設定路徑軌跡參數;然後通過計算機控制短脈衝雷射器輸出雷射,利用掃描振鏡控制雷射沿設定路徑在封裝基板上進行盲孔加工;盲孔加工完成後,取下封裝基板,超聲清洗得到封裝基板加工成品;本發明利用最佳化雷射加工路徑,加工的盲孔底部平整光滑,底部邊緣輪廓清晰,清潔無裂紋,加工精度高,加工效率高。

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