《一種基於冷等靜壓的靶材成型壓制方法》是株洲火炬安泰新材料有限公司於2021年2月2日申請的專利，該專利公布號為CN112919900A，專利公布日為2021年6月8日，發明人是唐智勇。
基本介紹
- 中文名：一種基於冷等靜壓的靶材成型壓制方法
- 授權公告號：CN112919900A
- 授權公告日：2021年6月8日
- 申請號：2021101413482
- 申請日：2021.02.02
- 申請人：株洲火炬安泰新材料有限公司
- 地址：412000湖南省株洲市天元區天易科技城自主創業園一期A5棟
- 發明人：唐智勇
- Int. Cl.：C04B35/457(2006.01)I;C04B35/622(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I;B28B3/00(2006.01)I;B01J3/04(2006.01)I
- 專利代理機構：長沙鑫澤信智慧財產權代理事務所(普通合夥)43247
- 代理人：刁飛
專利摘要
本發明公開了一種基於冷等靜壓的靶材成型壓制方法，屬於ITO靶材加工技術領域，該方法包括以下步驟：S1、ITO納米粉的製備：在300℃以下的溫度下，製得ITO納米粉；S2、實心粉料的製備：將ITO納米粉裝入模具中，加壓；然後從模具中取出ITO納米粉，粉碎後過篩，形成ITO實心粉料；S3、ITO管狀素坯的製備：將ITO實心粉料裝入管狀柔性模具中，經冷等靜壓製成ITO管狀素坯；S4、ITO旋轉靶材的製備：將ITO管狀素坯放入氧氣氛燒結爐中，通入氧氣，保溫燒結製成ITO旋轉靶材。本發明解決了經冷等靜壓成型的ITO旋轉靶素坯在成型、運輸、加工等過程中容易出現開裂的問題。
