《一種圖像感測器晶片測試分選一體機》是技感半導體設備（南通）有限公司於2020年8月13日申請的專利，該專利公布號為CN111933551B，專利公布日為2021年6月18日，發明人是梁猛、趙凱、盧升、林海濤。
基本介紹
- 中文名：一種圖像感測器晶片測試分選一體機
- 授權公告號：CN111933551B
- 授權公告日 ：2021.06.18
- 申請號 ：2020108117470
- 申請日：2020.08.13
- 專利權人：技感半導體設備（南通）有限公司
- 地址：226000江蘇省南通市開發區蘇通科技產業園江成路1088號江成研發園1號樓1529-145室（CSSD）
- 發明人：梁猛; 趙凱; 盧升; 林海濤
- Int. Cl.：H01L21/67(2006.01)I; H01L21/66(2006.01)I; H01L27/146(2006.01)I
- 專利代理機構：上海遠同律師事務所31307
- 代理人：張堅
- 對比檔案：CN 109801854 A,2019.05.24; KR 20030000613 A,2003.01.06; JP H08233901 A,1996.09.13
專利摘要
本發明公開了一種圖像感測器晶片測試分選一體機，包括依次排列且均具有輸送機構的待測流道、測試流道、良品流道、不良品流道，待測流道前端設有待測滿料托盤載倉，後端設有空盤卸載倉；良品流道前端設有良品滿料托盤卸載倉，後端設有空盤裝載倉；測試流道的輸送機構上設有具有加熱功能的下測試座，測試流道後端設有相匹配的下壓測試機構；不良品流道的輸送機構上設有存放不良品的托盤；各流道上方還橫跨有一橫樑，橫樑前後兩側分設有一能夠沿橫樑移動的晶片吸取機構。將晶片測試、加熱及視覺檢查等多功能集成於整個分選機中，僅需在原有動作邏輯中只增加了一步停頓與拍照檢查，可有效避免因晶片的轉移而造成的損傷或污染的風險。
